மினி மோட்டார் பொருத்தப்பட்ட நேரியல் நிலைகள்:WN267TA20H

பயண வரம்பு

20மிமீ

தீர்மானம்

0.125μm

மீண்டும் நிகழும் தன்மை

1μm

நேர்மை

2μm

பேரலலிசம்

5μm

பிச்சிங் (ஓய்)

10″ (50μrad)

யாவிங் (θz)

10″ (50μrad)

அதிகபட்ச வேகம்

5மிமீ/வினாடி

சுமை திறன்

10 கிலோ

எடை

1.5 கிலோ

அம்சங்கள்:
உயர் துணைப்பிரிவு ஸ்டெப்பர் மோட்டார் இயக்கி, உயர் தெளிவுத்திறனைப் பயன்படுத்தி அல்ட்ரா-பிரிசிஷன் மோட்டார் பொருத்தப்பட்ட நிலை.

இறக்குமதி செய்யப்பட்ட உயர் துல்லியமான அல்ட்ரா-தின் லீனியர் ஸ்லைடு உயர் துல்லியம், கச்சிதமானது, சிறந்த சரிசெய்தலுக்கான முதல் தேர்வாகும்.